Waferframemagazine

Automatisches Bearbeiten von Waferchargen erfordert Kassettensysteme, in denen die Wafer schützend aufbewahrt, gesichert transportiert und störungsfrei den jeweiligen Prozessschritten zugeführt werden können. Erhältlich für alle Wafergrößen aus Kunststoff (leitfähig). Auch mit einer speziell dafür gefertigten Abdeckung erhältlich.